Search academic texts

Information × Registration Number 2116U005197, Article popup.category Thesis Title popup.author popup.publication 01-01-2016 popup.source_user Сумський державний університет popup.source http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/46774 popup.publisher Сумський державний університет Description Розроблена автоматизована система, що дозволяє осаджувати плівкові матеріали у герметичному об’ємі вакуумної системи та досліджувати їх тензорезистивні характеристики без розгерметизації робочого об’єму. Експериментальний пристрій знаходиться у вакуумній камері та під'єднаний безпосередньо до електромережі установки ВУП-5М. Корпус виконано з немагнітних матеріалів, які не вступають в реакцію та стійкі до умов проведення дослідження. Система дозволяє конденсувати одночасно три двокомпонентних тонкоплівкових зразка з різними товщинами. Модулі керування мінімізують необхідне людське втручання в процес та дають змогу проводити експеримент без розгерметизації робочого об’єму установки. popup.nrat_date 2025-05-12 Close