Search academic texts

Information × Registration Number 2117U002140, Article popup.category Thesis Title popup.author popup.publication 01-01-2017 popup.source_user Сумський державний університет popup.source http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/64782 popup.publisher Сумський державний університет Description В останні роки широке застосування набувають плівки на основі β-фази Ga2O3. Тонкі плівки Ga2O3 товщиною 0.2-0.8 мкм одержані високочастотним (ВЧ) іонно-плазмовим розпиленням на підкладках із плавленого кварцу υ-SiO2. Для отриманих плівок -Ga2O3 характерна полікристалічна структура, яка відрізняється залежно від способу термообробки плівок. Одержані в роботі результати при дослідженні коливних спектрів можна використати при вивченні структури і досконалості тонких плівок -Ga2O3, перебудови їх структури під час фазових переходів. Спектри ІЧ-відбивання корисні для інтерпретації плівок -Ga2O3, легованих елементами III-V груп періодичної системи. Наявність у цих спектрах порівняно вузьких смуг дозволяє проводити кількісний аналіз домішок. popup.nrat_date 2025-05-12 Close