Search academic texts

Information × Registration Number 2120U008345, Article popup.category Бакалаврська робота Title Selection of Optimal Parameters of Photodiodes for Optical Pyrometry (AI translated) popup.author Новіков Денис ОлександровичNovikov Denys Oleksandrovych popup.publication 01-01-2020 popup.source_user Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського» popup.source https://ela.kpi.ua/handle/123456789/35109 popup.publisher Київ Description Роботу викладено на 77 сторінках, вона містить 3 розділи, 34 ілюстрації, 2 таблиці та 46 джерел в переліку посилань. Об’єктом дослідження є кремнієві фотодіоди та їх використання в оптичній пірометрії. Предмет роботи – дослідження електричних, частотних і оптичних параметрів кремнієвих фотодіодів із p-n переходом та умов оптичного вимірювання температури підкладок в реакторі. Мета роботи – вибір фотодіодів для використання в системі пірометра із компенсацією випромінювання для точного контролю температури під час осадження металоорганічних сполук із парової фази. В першому розділі подаються основи теплового випромінювання, його поширення у просторі, властивості поверхонь, модель ідеального випромінювача та опис властивостей випромінювання у вигляді радіометричних величин. В другому розділі розглядаються основи пірометрії з компенсацією випромінювання, аналіз похибок та особливості її застосування у реакторах MOCVD. В третьому розділі проводиться аналіз та подаються результати вимірювання параметрів кремнієвих фотодіодів для подальшого використання в пірометрії із компенсацією випромінювання. This work contains 77 pages which include 3 sections, 34 figures, 2 tables and 46 sources in the reference list. The object of research is silicon photodiodes and their application in optical pyrometry. The subject of the work is the study of electrical, frequency and optical parameters of silicon photodiodes with p-n junction and conditions of optical measurement of substrate temperature in the reactor. The objective of the work is a selection of photodiodes for using them in the emissivity-compensated pyrometer’s system for the precise temperature control during metalorganic chemical vapour deposition process. The first section presents the basics of thermal radiation, its propagation in environment, surface properties, the model of an ideal radiator and a description of the radiation properties in the form of radiometric quantities. The second section examines the foundations of the emissivity-compensated pyrometry, error analysis and specificities of its application in MOCVD reactors. The third section deals with analysis and presents the results of measuring of the parameters of silicon photodiodes for further use in the emissivity-compensated pyrometry. popup.nrat_date 2025-11-05 Close