Search academic texts

Information × Registration Number 2121U003993, Article popup.category Бакалаврська робота Title popup.author popup.publication 01-01-2021 popup.source_user Сумський державний університет popup.source https://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/84577 popup.publisher Сумський державний університет Description Об’єктом дослідження кваліфікаційної роботи є процес нанесення матеріалів для виготовлення елементів мікроелектроніки. Мета роботи полягає у дослідженні впливу умов нанесення матеріалів на формування структури елементів електроніки при використанні комп’ютерного моделювання. Робота складається із вступу, трьох розділів основної частини та висновків. У першому розділі наведено огляд методів нанесення матеріалів, які використовуються для виготовлення елементів інтегральних мікросхем. У другому розділі розглядається методика комп’ютерного моделювання процесу пошарового нанесення матеріалів за допомогою програмного пакету Silvaco TCAD. У третьому розділі наведено результати моделювання селективного та неселективного нанесення кремнію, а також односпрямованого осадження плівок на поверхню структури. popup.nrat_date 2025-05-12 Close