Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0220U101847, Науково-дослідна робота

Назва роботи

Виготовлення магнетронного пристрою випаровувача металів та механізму розбалансування його магнітного поля на базі постійних магнітів

Керівник роботи

Лопаткін Роман Юрійович, Кандидат фізико-математичних наук

Дата реєстрації

26-02-2020

Організація виконавець

Інститут прикладної фізики НАН України

Опис

Виготовлене обладнання встановлене на вакуумній пост ВУП5 Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України. Перевірена вакуумна герметичність, параметри ініціювання розряду та інші функціональні параметри згідно технічного завдання.

Опис продукції

Магнетронний пристрій для розпилення металів у вакуумі разом з розбалансовуючою системою розрахований на мішень діаметром 60 мм, має охолоджувану проточною водою магнітну систему на основі самарій-кобальтових магнітів. Механіз розбалансування магнітного поля магнетронного пристрою (випаровувача) розміщений у вакуумі навколо аноду магнетрону і має можливість переміщуватись вздовж його осі. Пристрій адаптований для роботи в складі ВУП-5.