Знайдено документів: 1
Реєстраційний номер

0220U101847, 0119U102869 , Науково-дослідна робота

Назва роботи

Виготовлення магнетронного пристрою випаровувача металів та механізму розбалансування його магнітного поля на базі постійних магнітів

Назва етапу роботи

Керівник роботи

Лопаткін Роман Юрійович, Кандидат фізико-математичних наук

Дата реєстрації

26-02-2020

Організація виконавець

Інститут прикладної фізики НАН України

Опис етапу

Виготовлене обладнання встановлене на вакуумній пост ВУП5 Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України. Перевірена вакуумна герметичність, параметри ініціювання розряду та інші функціональні параметри згідно технічного завдання.

Опис продукції

Магнетронний пристрій для розпилення металів у вакуумі разом з розбалансовуючою системою розрахований на мішень діаметром 60 мм, має охолоджувану проточною водою магнітну систему на основі самарій-кобальтових магнітів. Механіз розбалансування магнітного поля магнетронного пристрою (випаровувача) розміщений у вакуумі навколо аноду магнетрону і має можливість переміщуватись вздовж його осі. Пристрій адаптований для роботи в складі ВУП-5.

Автори роботи

Варакін Олег Вікторович
Лопаткін Роман Юрійович
Павленко Юрій Анатолійович
Чижов Ігор Григорович
Шкурат Олександр Іванович

Додано в НРАТ

2020-04-02

НДДКР ОК
Виготовлення магнетронного пристрою випаровувача металів та механізму розбалансування його магнітного поля на базі постійних магнітів
Керівник: Лопаткін Роман Юрійович. Виготовлення магнетронного пристрою випаровувача металів та механізму розбалансування його магнітного поля на базі постійних магнітів. (Етап: ). Інститут прикладної фізики НАН України. № 0220U101847
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2025-05-13


Роздрукувати цю сторінку