Search academic texts

Information × Registration Number 0211U009342, 0106U005593 , R & D reports Title Nonlinear wave processes in the low-temperature plasma of the sources of charged paticles and plasma flows popup.stage_title Head Kyrychenko Georgiy Sergiyovich, Registration Date 24-11-2011 Organization Institute For Nuclear Research Of National Academy Of Sciences Of Ukraine popup.description2 The processes of plasma etching in cross fields are studied. The novel technology is designed to work of material with plasma-chemical assistance for nano and microelectronics. Product Description popup.authors Ісаков Юрій Іванович Білодуб Анатолій Макарович Борисенко Анатолій Григорович Вірко Валерій Федорович Вірко Юрій Валерійович Войтенко Леонід Михайлович Костін Євген Григорович Кругленко Микола Петрович Літовко Ірина Валентинівна Подзірей Юрій Степанович Полозов Борис Павлович. Порицький Павло Віталійович Романюк Леонід Іванович Слободян В'ячеслав Михайлович Старчик Павло Денисович Сукрухо Павло Йосипович Федорович Олег Антонович popup.nrat_date 2020-04-02 Close