Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0211U009342, 0106U005593 , Науково-дослідна робота Назва роботи Нелінійні хвильові процеси в низькотемпературній плазмі джерел заряджених частинок та плазмових потоків Назва етапу роботи Керівник роботи Кириченко Георгій Сергійович, Дата реєстрації 24-11-2011 Організація виконавець Інститут ядерних досліджень НАН України Опис етапу Досліджено процеси плазмового травлення в високочастотних розрядах у схрещених полях. Розроблено нові технології плазмохімічної обробки матеріаліа нано- та мікроелектроніки. Опис продукції Розроблено нові технології плазмохімічної обробки матеріаліа нано- та мікроелектроніки із застосуванням високочастотних розрядів. Автори роботи Ісаков Юрій Іванович Білодуб Анатолій Макарович Борисенко Анатолій Григорович Вірко Валерій Федорович Вірко Юрій Валерійович Войтенко Леонід Михайлович Костін Євген Григорович Кругленко Микола Петрович Літовко Ірина Валентинівна Подзірей Юрій Степанович Полозов Борис Павлович. Порицький Павло Віталійович Романюк Леонід Іванович Слободян В'ячеслав Михайлович Старчик Павло Денисович Сукрухо Павло Йосипович Федорович Олег Антонович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Нелінійні хвильові процеси в низькотемпературній плазмі джерел заряджених частинок та плазмових потоків
Керівник: Кириченко Георгій Сергійович. Нелінійні хвильові процеси в низькотемпературній плазмі джерел заряджених частинок та плазмових потоків. (Етап: ). Інститут ядерних досліджень НАН України. № 0211U009342
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-14


Роздрукувати цю сторінку