Search academic texts

Information × Registration Number 0218U002174, 0117U004675 , R & D reports Title The technology of vacuum-plasma formation of structural elements for nanoelectronics popup.stage_title Head Bazhyn Anatoliy Ivanovych, Registration Date 30-01-2018 Organization Scientific Center of Physical Technologies MES and NAS Ukraine popup.description2 The results of calculations of plasma parameters are obtained. The reactive module of ion-plasma digestion has been developed. Experimental measurements of plasma parameters in a discharge chamber of plasma-chemical and reactive ion-plasma digestion have been obtained. Obtained samples of formed nanosized electronics elements and their physical and technical characteristics Product Description popup.authors Бурштинська Лідія Валентинівна Дудін Станіслав Валентинович Зиков Олександр Юрійович Кривонос Володимир Михайлович Мірошниченко Григорій Олександрович Молотко Роман В'ячеславович Пхалагова Наталія Альбертівна Удовицький Віктор Григорович Фаренік Володимир Іванович popup.nrat_date 2020-04-02 Close