Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0218U002174, 0117U004675 , Науково-дослідна робота Назва роботи Технологія вакуумно-плазмового формування конструкційних елементів для наноелектроніки Назва етапу роботи Керівник роботи Бажин Анатолій Іванович, Дата реєстрації 30-01-2018 Організація виконавець Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Опис етапу Отримані результати розрахунків параметрів плазми. Розроблено реактивний модуль іонно-плазмового травління. Отримані експериментальні вимірювання параметрів плазми в розрядній камері модуля плазмохімічного та реактивного іонно-плазмового травління. Отримані зразки сформованих нанорозмірних елементів для електроніки та їх фізико-технічні характеристики. Опис продукції Автори роботи Бурштинська Лідія Валентинівна Дудін Станіслав Валентинович Зиков Олександр Юрійович Кривонос Володимир Михайлович Мірошниченко Григорій Олександрович Молотко Роман В'ячеславович Пхалагова Наталія Альбертівна Удовицький Віктор Григорович Фаренік Володимир Іванович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Технологія вакуумно-плазмового формування конструкційних елементів для наноелектроніки
Керівник: Бажин Анатолій Іванович. Технологія вакуумно-плазмового формування конструкційних елементів для наноелектроніки. (Етап: ). Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України. № 0218U002174
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-14


Роздрукувати цю сторінку