Search academic texts

Information × Registration Number 0308U008010, 0106U003218 , R & D reports Title The interconnection between parameters of gases discharge and characteristics metallic and metalloid thin films at a deposition by ion - plasma methods are research popup.stage_title Літературний пошук. Огляд існуючих моделей розпилення матеріалів під дією іонних потоків низьких енергій та газокінетичних моделей, що враховують перенос атомів речовини крізь певні проміжки газового розряду. Створення фізичних моделей, які найбільш повно передають зміни енергетичних та кількісних характеристик потоку розпилених з поверхні мішені атомів різних сортів під час переносу їх до поверхні конденсації. Head Therpy Dmitry Nikolaevich, Registration Date 27-08-2008 Organization Donbass State Engineering Academy popup.description2 The models published for last 10 years and the mechanisms explaining processes of formation and growth thin films are analyzed. The qualitative model connecting the characteristics of the category and kinetic of increase diboride films of transitive metals is offered. Product Description popup.authors popup.nrat_date 2020-04-02 Close