Знайдено документів: 1
Керівник: Терпій Дмитро Миколайович. Дослідження взаємозв’язку між параметрами жевріючого газового розряду та характеристиками тонких плівок металів та металідних сполук при осадженні їх іонно-плазмовими методами. (Етап: Літературний пошук. Огляд існуючих моделей розпилення матеріалів під дією іонних потоків низьких енергій та газокінетичних моделей, що враховують перенос атомів речовини крізь певні проміжки газового розряду. Створення фізичних моделей, які найбільш повно передають зміни енергетичних та кількісних характеристик потоку розпилених з поверхні мішені атомів різних сортів під час переносу їх до поверхні конденсації.). Донбаська державна машинобудівна академія. № 0308U008010
Знайдено документів: 1
Оновлено: 2026-03-15
