Search academic texts

Information × Registration Number 0308U008011, 0106U003218 , R & D reports Title The interconnection between parameters of gases discharge and characteristics metallic and metalloid thin films at a deposition by ion - plasma methods are research popup.stage_title Експериментальне визначення характеристик конденсованих плівок в залежності від параметрів горіння жевріючого розряду (тиск робочого газу, геометричне взаємне розташування мішені та підкладки і інш.). Head Therpy Dmitry Nikolaevich, Registration Date 27-08-2008 Organization Donbass State Engineering Academy popup.description2 Are received and investigated thin a film TaB2 and HfB2. Character of changes of their structure and properties depending on an operating mode deposition devices (rf magnetron) is studied. Quantitative data for the description of changes in processes of formation and growth investigated пленок are obtained. Product Description popup.authors popup.nrat_date 2020-04-02 Close