Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0308U008011, 0106U003218 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження взаємозв’язку між параметрами жевріючого газового розряду та характеристиками тонких плівок металів та металідних сполук при осадженні їх іонно-плазмовими методами Назва етапу роботи Експериментальне визначення характеристик конденсованих плівок в залежності від параметрів горіння жевріючого розряду (тиск робочого газу, геометричне взаємне розташування мішені та підкладки і інш.). Керівник роботи Терпій Дмитро Миколайович, Дата реєстрації 27-08-2008 Організація виконавець Донбаська державна машинобудівна академія Опис етапу Отримано та досліджено тонкі плівки TaB2 і HfB2. Вивчено характер змін їхньої структури та властивостей в залежності від режиму роботи розпилюючого пристрою (ВЧ магнетрону). Одержано кількісні дані для загальної характерізації змін у процесах формування та зростання досліджуваних плівок. . Опис продукції Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити