1 documents found
Head: Therpy Dmitry N.. The interconnection between parameters of gases discharge and characteristics metallic and metalloid thin films at a deposition by ion - plasma methods are research.. (popup.stage: Експериментальне визначення характеристик конденсованих плівок в залежності від параметрів горіння жевріючого розряду (тиск робочого газу, геометричне взаємне розташування мішені та підкладки і інш.), розпилених з поверхні мішені атомів різних сортів під час переносу їх до поверхні конденсації.). Donbass State Engineering Academy. № 0311U003682
1 documents found
Updated: 2026-03-27
