Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0311U003682, 0106U003218 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження взаємозв’язку між параметрами жевріючого газового розряду та характеристиками тонких плівок металів та металідних сполук при осадженні їх іонно-плазмовими методами. Назва етапу роботи Експериментальне визначення характеристик конденсованих плівок в залежності від параметрів горіння жевріючого розряду (тиск робочого газу, геометричне взаємне розташування мішені та підкладки і інш.), розпилених з поверхні мішені атомів різних сортів під час переносу їх до поверхні конденсації. Керівник роботи Терпій Дмитро Миколайович, Дата реєстрації 21-06-2011 Організація виконавець Донбаська державна машинобудівна академія Опис етапу Об'єкт дослідження: процеси, що мають місце під час формування тонких плівок та покриттів; плівки та покриття діборидів перехідних металів (Ta, Hf, V, Zr). Мета дослідження: Встановити взаємозв’язок між енергетичними характеристиками та щільністю струменів часток (атомів, кластерів, іонів) та механізмами зростання плівок металічних сполук. На підставі цього розробити механізми та алгоритми, які дозволили б заздалегідь прогнозувати склад, структуру та властивості плівок. Методи дослідження: оптична мікроскопія, вимірення нано- та мікротвердості, електронна мікроскопія, елементний аналіз і рентгеноструктурний аналіз, компютерне моделювання за методом Монте-Карло. Експеріментальним шляхом проведено визначення основних характеристик плівок та покриттів, таких як величина мікротвердості, електро-хімічна стійкість, розподіл плівки за товщиною. Встановлено взаємозвязок цих характеристик із структурним станом плівок: розміром зерна, ступенем текстурованості, пошаровою будовою та ін. Показано, що структурний стан плівок в значній мірі залежить від умов осадження. На основі отриманих даних запропоновано аналітичні методи розрахунків та алгоритми для компютерного моделювання процесів осадження з метою оптимізації процесу вибору оптимального режиму осадження. Опис продукції Автори роботи Дьяченко Юрій Григорович Коновалов Владілен Анатолійович Лаптєв Олександр Михайлович Мінков Олександр Миколайович Петухов Вадим Вікторович Плеханова Лідія Валентинівна Рульов Віктор Іванович Терпій Дмитро Миколайович Ткачов Олексій Іванович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити