Search academic texts

Information × Registration Number 0400U001670, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 19-05-2000 popup.evolution o Title Models, methods and software tools for computer-aided design of the gas-phase operation "diffusion" in the "open-flow" multi-wafer reactor Author Korbets'kyj Orest Romanovych, popup.head Гранат Петро Петрович popup.opponent Смердов Андрій Андрійович popup.opponent Крищук Володимир Миколайович popup.opponent Васильцов Ігор Володимирович Description Об'єкт дослідження – газофазна операція "дифузія" в проточному реакторі. Мета – розробка моделей, методів і алгоритмів моделювання газофазних операцій виготовлення інтегральних схем (ІС), реалізація їх у вигляді програмно- методичного комплексу. Методи досліджень: апарат обчислювальної математики і математичної фiзики, прикладного і системного програмування. Теоретичний результат – комплексний підхід до моделювання газофазних операцій при виготовленні ІС. Практичний результат – підвищення точності моделювання протікання технологічних газофазних операцій. Економічний ефект – заощадження матеріальних та енергетичних ресурсів в процесі проектування і доробки технологічного процесу виготовлення ІС. Сфери використання – підприємства та наукові заклади, які займаються проектуванням та виробництвом ІС, вища освіта. Registration Date 2000-05-19 popup.nrat_date 2020-04-04 Close