Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0400U001670, Кандидатська дисертація На здобуття к.т.н. Дата захисту 19-05-2000 Статус Запланована Назва роботи Моделі, методи та програмні засоби для автоматизованого проектування газофазної операції "дифузія" в проточному реакторі Здобувач Корбецький Орест Романович, Керівник Гранат Петро Петрович Опонент Смердов Андрій Андрійович Опонент Крищук Володимир Миколайович Опонент Васильцов Ігор Володимирович Опис Об'єкт дослідження – газофазна операція "дифузія" в проточному реакторі. Мета – розробка моделей, методів і алгоритмів моделювання газофазних операцій виготовлення інтегральних схем (ІС), реалізація їх у вигляді програмно- методичного комплексу. Методи досліджень: апарат обчислювальної математики і математичної фiзики, прикладного і системного програмування. Теоретичний результат – комплексний підхід до моделювання газофазних операцій при виготовленні ІС. Практичний результат – підвищення точності моделювання протікання технологічних газофазних операцій. Економічний ефект – заощадження матеріальних та енергетичних ресурсів в процесі проектування і доробки технологічного процесу виготовлення ІС. Сфери використання – підприємства та наукові заклади, які займаються проектуванням та виробництвом ІС, вища освіта. Дата реєстрації 2000-05-19 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити