Search academic texts

Information × Registration Number 0400U001918, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 22-06-2000 popup.evolution o Title Research of changes of properties of subsurface layers of indium phosphide under action of hydrogen atoms with thermal energy. Author Gorbenko Vitalij Ivanovych, popup.head Горбань Олександр Миколайович popup.opponent Гранкін Віктор Павлович popup.opponent Корніч Григорій Володимирович Description Дисертацію присвячено вивченню модифікації складу і властивостей приповерхневих шарів напівпровідникового матеріалу та явищ у складній гетерогенній системі. Розглянута система, газова фаза якої утворюється під дією розряду високої частоти у суміші молекул водню та води. Встановлено, що зміни у складі фосфіду індію можуть розвиватися у двох напрямках: утворення на поверхні металевого шару індію та збагачення приповерхневих шарів киснем. Напрямок розвитку залежить від співвідношення молекул водню та води у газовій фазі. З'ясовано, що взаємодія атомарного водню з атомами напівпровідника стимулює сублімацію молекул Р2 і підсилює дифузію атомів кисню в приповерхневих шарах. Встановлено, що електрофізичні характеристики металевого шару індію є омічними. Розроблено методики до методу пошуку екстремуму функціоналу термодинамічної функції, що дозволили застосувати його до моделювання процесів в складній гетерогенній системі з підвищеним вмістом радикалів. Registration Date 2000-06-22 popup.nrat_date 2020-04-04 Close