Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0400U001918, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 22-06-2000 Статус Запланована Назва роботи Дослідження змін властивостей приповерхневих шарів фосфіду індію під дією атомів водню теплових енергій. Здобувач Горбенко Віталій Іванович, Керівник Горбань Олександр Миколайович Опонент Гранкін Віктор Павлович Опонент Корніч Григорій Володимирович Опис Дисертацію присвячено вивченню модифікації складу і властивостей приповерхневих шарів напівпровідникового матеріалу та явищ у складній гетерогенній системі. Розглянута система, газова фаза якої утворюється під дією розряду високої частоти у суміші молекул водню та води. Встановлено, що зміни у складі фосфіду індію можуть розвиватися у двох напрямках: утворення на поверхні металевого шару індію та збагачення приповерхневих шарів киснем. Напрямок розвитку залежить від співвідношення молекул водню та води у газовій фазі. З'ясовано, що взаємодія атомарного водню з атомами напівпровідника стимулює сублімацію молекул Р2 і підсилює дифузію атомів кисню в приповерхневих шарах. Встановлено, що електрофізичні характеристики металевого шару індію є омічними. Розроблено методики до методу пошуку екстремуму функціоналу термодинамічної функції, що дозволили застосувати його до моделювання процесів в складній гетерогенній системі з підвищеним вмістом радикалів. Дата реєстрації 2000-06-22 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити