Search academic texts

Information × Registration Number 0401U003163, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 02-11-2001 popup.evolution o Title The peculiarities of structure and stress state of tungsten and tungsten carbide ion plasma condensates Author Cobol' Olena Anatoliyivna, popup.head Пугачов Анатолій Тарасович popup.opponent Фінкель Віталій Олександрович popup.opponent Іл'їнський Олександр Іванович Description Дисертація присвячена дослідженню механізмів формування структури іонно-плазмових конденсатів вольфраму і його карбідів, а також її стабільності при відпалюванні в температурному інтервалі 300-1500 К. Плівки вольфраму і карбіду вольфраму були отримані іонно-плазмовим розпиленням відповідних мішеней з використанням магнетронної і триодної схем. Проаналізовано вплив основних параметрів осаждення з іонно-плазмових потоків на формування фазового складу, структури і напруженого стану конденсатів. Встановлено загальні для іонно-плазмових методів нанесення покриттів результати: розвиток у гратках кристалітів високих пружних деформацій, формування перважної орієнтації кристалітів, залежність елементного складу покриття і розміру кристалітів від густини потоку часток, що осаджуються, температури підкладки і величини потенціалу розпилення мішені. Registration Date 2001-11-02 popup.nrat_date 2020-04-04 Close