Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0401U003163, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 02-11-2001 Статус Запланована Назва роботи Особливості структури та напруженого стану іонно-плазмових конденсатів вольфраму і карбіду вольфраму Здобувач Соболь Олена Анатоліївна, Керівник Пугачов Анатолій Тарасович Опонент Фінкель Віталій Олександрович Опонент Іл'їнський Олександр Іванович Опис Дисертація присвячена дослідженню механізмів формування структури іонно-плазмових конденсатів вольфраму і його карбідів, а також її стабільності при відпалюванні в температурному інтервалі 300-1500 К. Плівки вольфраму і карбіду вольфраму були отримані іонно-плазмовим розпиленням відповідних мішеней з використанням магнетронної і триодної схем. Проаналізовано вплив основних параметрів осаждення з іонно-плазмових потоків на формування фазового складу, структури і напруженого стану конденсатів. Встановлено загальні для іонно-плазмових методів нанесення покриттів результати: розвиток у гратках кристалітів високих пружних деформацій, формування перважної орієнтації кристалітів, залежність елементного складу покриття і розміру кристалітів від густини потоку часток, що осаджуються, температури підкладки і величини потенціалу розпилення мішені. Дата реєстрації 2001-11-02 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити