Search academic texts

Registration Number

0402U000394, Candidate dissertation

Status

к.т.н., 05.27.01, Твердотільна електроніка

Date

21-01-2002

popup.evolution

o

Title

Preparation and investigation of silicon structure with diamond and diamond like carbon films

Author

Semikina Tetyana Viktorivna,

popup.head Якименко Юрій Іванович
popup.opponent Осінський Володимир Іванович
popup.opponent Гонтар Олександр Григорович

Description

Дисертація присвячена питанню створення гетеропереходу АП(АПП)/кремній, котрий мав би випрямні властивості та підвищену фоточутливість в ультрафіолетовій області випромінювання, а також встановленню методу осадження та технологічних режимів, що дозволяють отримувати плівку АП або АПП з керованими властивостями. Встановлено взаємозв'язок структури та фазового складу АП та АПП з умовами осадження. Визначена залежність між змістом азоту у газовій суміші та електрофізичними, фотоелектричними властивостями гетеропереходу АПП/Si. Досліджені та розраховані параметри структури АПП/Si на базі фотоємнісного еффекту. Розроблено новий тип фотоелектричного датчика на основі АПП/Si, що працює в широкому спектральному діапазоні (200-1000 нм). Показано, що АПП, отримані плазмо-хімічним осадженням при високих напругах автозміщення (-300 В), забезпечують високу стабільність та радіаційну стійкість характеристик сонячних элементів, що дозволяє використувати дані АПП в якості захисних та просвітлюючих покрит тів ФЕП космічного призначення.

popup.nrat_date

2020-04-04