Search academic texts

Information × Registration Number 0402U000557, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 07-02-2002 popup.evolution o Title The formation, transformation and properties of grown-in microdefects in semiconducting silicon. Author TALANIN Vitalij Igorovych, popup.head Левінзон Давид Іделевич popup.opponent Бахрушин Володимир Євгенійович, popup.opponent Головко Ольга Петрівна Description Об'єкт досліджень: механізм утворення, -трансформації мікродефектів, їх властивості у -напівпровідниковому Si. Мета: експериментальне. дослідження механізму утворення, росту і трансформації _ мікродефектів, їхнього впливу на характеристики монокристалів Si і приладових структур. Методи: селективне травлення, просвітлююча електронна мікроскопія, вимірювання електрофізичних параметрів монокристалів і електричних характеристик приладових -структур. Основні результати: виявлено співіснування. мікродефектів вакансійного і міжвузольного типів у Si незалежно від методу його вирощування. Встановлений гетерогенний механізм утворення і трансформації ростових мікродефектів. Досліджено зв'язок між утворенням мікрофедектів і наявністю фонових домішок. Registration Date 2002-02-07 popup.nrat_date 2020-04-04 Close