Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0402U000557, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 07-02-2002 Статус Запланована Назва роботи Утворення, трансформація і властивості ростових мікродефектів у напівпровідниковому кремнію. Здобувач ТАЛАНІН Віталій Ігорович, Керівник Левінзон Давид Іделевич Опонент Бахрушин Володимир Євгенійович, Опонент Головко Ольга Петрівна Опис Об'єкт досліджень: механізм утворення, -трансформації мікродефектів, їх властивості у -напівпровідниковому Si. Мета: експериментальне. дослідження механізму утворення, росту і трансформації _ мікродефектів, їхнього впливу на характеристики монокристалів Si і приладових структур. Методи: селективне травлення, просвітлююча електронна мікроскопія, вимірювання електрофізичних параметрів монокристалів і електричних характеристик приладових -структур. Основні результати: виявлено співіснування. мікродефектів вакансійного і міжвузольного типів у Si незалежно від методу його вирощування. Встановлений гетерогенний механізм утворення і трансформації ростових мікродефектів. Досліджено зв'язок між утворенням мікрофедектів і наявністю фонових домішок. Дата реєстрації 2002-02-07 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити