Search academic texts

Information × Registration Number 0404U000308, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 24-12-2003 popup.evolution o Title Microelectronic sensors on basic SOI-structures with recrystallized polysilicon layers. Author Khoverko Yuriy Mykolajovych, popup.head Druzhinin Anatoly Alexandrovich popup.opponent Готра Зенон Юрійович popup.opponent Ащеулов Анатолій Анатолійович Description Об'єкт-cтруктури типу кремній на ізоляторі з рекристалізованим полікремнійом та сенсори на їх основі. Мета-створення КНІ-структур зі заданими властивостями полікремнію та розроблення мікроелектронних сенсорів для застосування при різних температурах. Новизна-встановлено оптимальні рівні легування полікремнію бором; удосконалено лазерну рекристалізацію та анізотропне травлення; реалізовано технологію створення двофункційних сенсорів. Сфера- електронна галузь. Registration Date 2003-12-24 popup.nrat_date 2020-04-04 Close