Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0404U000308, Кандидатська дисертація На здобуття к.т.н. Дата захисту 24-12-2003 Статус Запланована Назва роботи Мікроелектронні сенсори на основі КНІ-структур з рекристалізованим шаром полікремнію Здобувач Ховерко Юрій Миколайович, Керівник Дружинін Анатолій Олександрович Опонент Готра Зенон Юрійович Опонент Ащеулов Анатолій Анатолійович Опис Об'єкт-cтруктури типу кремній на ізоляторі з рекристалізованим полікремнійом та сенсори на їх основі. Мета-створення КНІ-структур зі заданими властивостями полікремнію та розроблення мікроелектронних сенсорів для застосування при різних температурах. Новизна-встановлено оптимальні рівні легування полікремнію бором; удосконалено лазерну рекристалізацію та анізотропне травлення; реалізовано технологію створення двофункційних сенсорів. Сфера- електронна галузь. Дата реєстрації 2003-12-24 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити
Дисертація кандидатська
Мікроелектронні сенсори на основі КНІ-структур з рекристалізованим шаром полікремнію
1
Ховерко Юрій Миколайович. Мікроелектронні сенсори на основі КНІ-структур з рекристалізованим шаром полікремнію : к.т.н. : спец.. 05.27.01 - Твердотільна електроніка : дата захисту 2003-12-24; Статус: Захищена; Національний університет "Львівська політехніка". – , 0404U000308.
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-15


Роздрукувати цю сторінку