1 documents found
Information × Registration Number 0405U003133, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 27-05-2005 popup.evolution o Title Planar diffusion sources for diffusion of boron from alyumoborosilicon compounds. Author Myshchyshyn Volodymyr Myhaylovych, popup.head Voronin Valeriy Oleksandrovych popup.opponent Лисенко Володимир Сергійович popup.opponent Смеркло Любомир Михайлович Description Об'єкт-алюмоборосилікатні сполуки та кремнієві термостійкі підкладки. Мета-створення твердих планарних джерел для дифузії бору з алюмоборосилікатних сполук на кремнієвих термостійких підкладках. Новизна-розроблено наукові основи створення твердих планарних джерел бору з поруватою поверхнею. Сфера-кремнієва технологія. Registration Date 2005-05-27 popup.nrat_date 2020-04-04 Close
Candidate dissertation
Planar diffusion sources for diffusion of boron from alyumoborosilicon compounds.
1
Myshchyshyn Volodymyr Myhaylovych. Planar diffusion sources for diffusion of boron from alyumoborosilicon compounds. : к.т.н. : spec.. 05.27.06 - Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки : presented. 2005-05-27; popup.evolution: .; Lviv Polytechnic National University. – , 0405U003133.
1 documents found

Updated: 2026-03-22


Роздрукувати цю сторінку