Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0405U003133, Кандидатська дисертація На здобуття к.т.н. Дата захисту 27-05-2005 Статус Запланована Назва роботи Тверді планарні джерела для дифузії бору з алюмоборосилікатних сполук Здобувач Мищишин Володимир Михайлович, Керівник Воронін Валерій Олександрович Опонент Лисенко Володимир Сергійович Опонент Смеркло Любомир Михайлович Опис Об'єкт-алюмоборосилікатні сполуки та кремнієві термостійкі підкладки. Мета-створення твердих планарних джерел для дифузії бору з алюмоборосилікатних сполук на кремнієвих термостійких підкладках. Новизна-розроблено наукові основи створення твердих планарних джерел бору з поруватою поверхнею. Сфера-кремнієва технологія. Дата реєстрації 2005-05-27 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити
Дисертація кандидатська
Тверді планарні джерела для дифузії бору з алюмоборосилікатних сполук
1
Мищишин Володимир Михайлович. Тверді планарні джерела для дифузії бору з алюмоборосилікатних сполук : к.т.н. : спец.. 05.27.06 - Технологія, обладнання та виробництво електронної техніки : дата захисту 2005-05-27; Статус: Захищена; Національний університет "Львівська політехніка". – , 0405U003133.
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-15


Роздрукувати цю сторінку