Кандидатська дисертація. Яганов Петро Олексійович. Мікроелектронні перетворювачі на кремнієвій структурі з діелектричною ізоляцією

Registration Number

0406U002092, Candidate dissertation

Status

к.т.н.

Date

15-05-2006

popup.evolution

.

Title

Microelectronic transducers in silicon structures with dielectric insulation

Author

Yaganov Petro Olexijovych,

popup.head Borysov Olexandr Vasyljovych
popup.opponent Осадчук Володимир Степанович
popup.opponent Осінський Володимир Іванович
popup.opponent Москалюк Володимир Олександрович

popup.rada

National Technscal University of Ukraine "Kiev Polytechnic Institute".

Description

Дисертація присвячена розробці високочутливих інтегральних мікроелектронних сенсорів на кремнієвих структурах з діелектричною ізоляцією (КСДІ) і створенню на їх основі нових вимірювальних перетворювачів неелектричних величин (ВПНЕ) з широкими функціональними можливостями. Розроблена нова інтегральна багатосенсорна КСДІ, вивчені особливості її функціонування та метрологічні характеристики (МХ), на її основі створено нові ВПНЕ з широкими функціональними можливостями. Продовжено розвиток методів моделювання МХ сенсорів. Для високоточної апроксимації МХ використано регресійний аналіз та нейронні мережі.

Registration Date

2006-05-24

popup.nrat_date

2020-04-04 / 2026-06-30