Search academic texts

Information × Registration Number 0407U000072, Candidate dissertation Status к.х.н. Date 13-12-2006 popup.evolution o Title "Interaction of GaSb and GaAs with HNO3-HHal-organic acid water solutions" Author Сhernyuk Oleksandr Serhiyovych, popup.head Tomashyk Vasyl Mykolayovych popup.opponent Гладишевський Роман Євгенович popup.opponent Колбасов Геннадій Якович Description Дисертація присвячена експериментальному дослідженню процесів хімічного розчинення GaAs та GaSb в водних галогенвиділяючих розчинах HNO3-HСl(HBr)-органічна кислота та розробці на основі отриманих результатів травильних композицій і методик обробки поверхні галій арсеніду та галій стибіду. Використовуючи математичне планування експерименту побудовано 21 проекція поверхонь однакових швидкостей травлення для розчинення GaAs та GaSb в розчинах дванадцяти систем водних розчинів HNO3-HСl(HBr)-органічна кислота. Встановлено вплив органічних розчинників (ацетатна, лактатна, цитратна, оксалатна та тартратна кислоти) на процес хімічного травлення і поліруючі властивості розчинів. Для хімічної обробки GaAs вперше запропоновано використовувати бромвиділяючі травильні композиції на основі водних розчинів HNO3-HBr. Розроблено серію хлор- та бромвиділяючих травильних композицій для різних технологічних обробок GaSb та GaAs і оптимізовано склади травників та технологічні режими проведення операцій хімічної модифікації поверхні вказаних напівпровідникових матеріалів. Registration Date 2006-12-13 popup.nrat_date 2020-04-04 Close