Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0407U000072, Кандидатська дисертація На здобуття к.х.н. Дата захисту 13-12-2006 Статус Запланована Назва роботи "Взаємодія GaSb та GaAs з водними розчинами HNO3-HHal-органічна кислота" Здобувач Чернюк Олександр Сергійович, Керівник Томашик Василь Миколайович Опонент Гладишевський Роман Євгенович Опонент Колбасов Геннадій Якович Опис Дисертація присвячена експериментальному дослідженню процесів хімічного розчинення GaAs та GaSb в водних галогенвиділяючих розчинах HNO3-HСl(HBr)-органічна кислота та розробці на основі отриманих результатів травильних композицій і методик обробки поверхні галій арсеніду та галій стибіду. Використовуючи математичне планування експерименту побудовано 21 проекція поверхонь однакових швидкостей травлення для розчинення GaAs та GaSb в розчинах дванадцяти систем водних розчинів HNO3-HСl(HBr)-органічна кислота. Встановлено вплив органічних розчинників (ацетатна, лактатна, цитратна, оксалатна та тартратна кислоти) на процес хімічного травлення і поліруючі властивості розчинів. Для хімічної обробки GaAs вперше запропоновано використовувати бромвиділяючі травильні композиції на основі водних розчинів HNO3-HBr. Розроблено серію хлор- та бромвиділяючих травильних композицій для різних технологічних обробок GaSb та GaAs і оптимізовано склади травників та технологічні режими проведення операцій хімічної модифікації поверхні вказаних напівпровідникових матеріалів. Дата реєстрації 2006-12-13 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити