Search academic texts

Information × Registration Number 0408U001348, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 28-03-2008 popup.evolution o Title The improvement of the arsenic metal technology with reduced oxygen content for the preparation of monocrystals of GaAs Author Maznytska Oksana Viktorivna, popup.head Oksanych Anatoliy Petrovych popup.opponent Данильченко Борис Олександрович popup.opponent Тербан Віктор Андрійович Description Об'єкт - технологічні процеси одержання металічного арсену зі зниженим вмістом кисню, що використовується для виробництва монокристалів GaAs. Мета - удосконалення промислової технології очищення AsCl3 і його відновлення для отримання металічного арсену зі зниженим вмістом кисню. Методи - фундаментальні положення хімічної термодинаміки і кінетики, теорія розділення речовин при фазових переходах, фізика напівпровідників, фізико-хімічні основи процесів дистиляції і ректифікації. Результати - встановлено закономірності процесу хлорування As2О3 і досліджено термодинамічну рівновагу в системі As2O3-HCl-AsCl3-H2O, що дозволило удосконалити промислову технологію ректифікаційного очищення AsCl3 з подачею газоподібного НCl; досліджено кінетичні параметри процесу відновлення AsCl3 в потоці водню, що визначило можливість впровадження високоефективного обладнання для ведення цього процесу; одержано монокристалічний GaAs зі зниженим вмістом кисню з високими електрофізичними параметрами (для нелегованих зразків кількість носіїв заряду n = 4·1014, рухливість µ = 8,03·103 см2/В·с; для компенсованих зразків питомий опір р = 1,21·108 Ом·см, µ = 6,108·103 см2/В·с). Новизна - вперше запропоновано термодинамічну модель рівноваги в системі As2O3-HCl-AsCl3-H2O; встановлено, що в ході хлорування вода, в якій розчинений HCl, бере участь у встановленні термодинамічної рівноваги як четвертий компонент фазової діаграми з утворенням оксихлоридів, як основних джерел кисню в технологічному процесі; встановлено кінетичні закономірності процесу хлорування As2O3 в хлоридній кислоті; розроблено методику та обладнання для проведення ректифікаційного очищення AsCl3, показано, що введення газоподібного HCl в об'єм ректифікаційної колони не впливає на її матеріальний баланс; визначено кінетичні закономірності процесу відновлення AsCl3 воднем. Впровадження - удосконалену технологію впроваджено на підприємстві ВАТ "Чисті метали", м. Світловодськ; результати дисертаційної роботи впроваджено в КУЕІТУ в навчальному процесі при вивченні курсів "Фізико-хімічні основи охорони атмосфери та гідросфери" та "Екологічні аспекти процесів і апаратів промислових виробництв". Галузь - підприємства електронної галузі та галузеві науково-дослідні інститути, що займаються очисткою та отриманням напівпровідникових матеріалів. Registration Date 2008-03-28 popup.nrat_date 2020-04-04 Close