Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0408U001348, Кандидатська дисертація На здобуття к.т.н. Дата захисту 28-03-2008 Статус Запланована Назва роботи Удосконалення технології отримання металічного арсену зі зниженим вмістом кисню для виробництва монокристалів GaAs Здобувач Мазницька Оксана Вікторівна, Керівник Оксанич Анатолій Петрович Опонент Данильченко Борис Олександрович Опонент Тербан Віктор Андрійович Опис Об'єкт - технологічні процеси одержання металічного арсену зі зниженим вмістом кисню, що використовується для виробництва монокристалів GaAs. Мета - удосконалення промислової технології очищення AsCl3 і його відновлення для отримання металічного арсену зі зниженим вмістом кисню. Методи - фундаментальні положення хімічної термодинаміки і кінетики, теорія розділення речовин при фазових переходах, фізика напівпровідників, фізико-хімічні основи процесів дистиляції і ректифікації. Результати - встановлено закономірності процесу хлорування As2О3 і досліджено термодинамічну рівновагу в системі As2O3-HCl-AsCl3-H2O, що дозволило удосконалити промислову технологію ректифікаційного очищення AsCl3 з подачею газоподібного НCl; досліджено кінетичні параметри процесу відновлення AsCl3 в потоці водню, що визначило можливість впровадження високоефективного обладнання для ведення цього процесу; одержано монокристалічний GaAs зі зниженим вмістом кисню з високими електрофізичними параметрами (для нелегованих зразків кількість носіїв заряду n = 4·1014, рухливість µ = 8,03·103 см2/В·с; для компенсованих зразків питомий опір р = 1,21·108 Ом·см, µ = 6,108·103 см2/В·с). Новизна - вперше запропоновано термодинамічну модель рівноваги в системі As2O3-HCl-AsCl3-H2O; встановлено, що в ході хлорування вода, в якій розчинений HCl, бере участь у встановленні термодинамічної рівноваги як четвертий компонент фазової діаграми з утворенням оксихлоридів, як основних джерел кисню в технологічному процесі; встановлено кінетичні закономірності процесу хлорування As2O3 в хлоридній кислоті; розроблено методику та обладнання для проведення ректифікаційного очищення AsCl3, показано, що введення газоподібного HCl в об'єм ректифікаційної колони не впливає на її матеріальний баланс; визначено кінетичні закономірності процесу відновлення AsCl3 воднем. Впровадження - удосконалену технологію впроваджено на підприємстві ВАТ "Чисті метали", м. Світловодськ; результати дисертаційної роботи впроваджено в КУЕІТУ в навчальному процесі при вивченні курсів "Фізико-хімічні основи охорони атмосфери та гідросфери" та "Екологічні аспекти процесів і апаратів промислових виробництв". Галузь - підприємства електронної галузі та галузеві науково-дослідні інститути, що займаються очисткою та отриманням напівпровідникових матеріалів. Дата реєстрації 2008-03-28 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити