Search academic texts

Information × Registration Number 0409U005119, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 14-10-2009 popup.evolution o Title Regularities of the deposition parameters, doping and thermal annealing influence on the structural, optical and electrical properties of zinc oxide films Author Khranovskyy Volodymyr Dmytrovych, popup.head Lashkarev Georgij Vadimovich popup.opponent Зауличний Ярослав Васильович popup.opponent Хомченко Вікторія Сергіївна Description В роботі досліджено властивості полікристалічних плівок ZnO, осаджених методом PEMOCVD в діапазоні температур 200 - 500 С. Виявлено підвищення структурної досконалості плівок - покращення текстури вздовж осі с та розміру зерен із збільшенням температури та присутність поліхроматичного спектру люмінесценції. Показано, що використання гомоепітаксійного буферного шару ZnO призводить до покращення структурної досконалості плівок - зростання ступеню текстури, збільшення розміру зерен та зменшення напруг у плівці. Продемонстровано термічну дифузію водню із підкладки в ZnO в процесі росту плівки. Виявлено, що плівки ZnO, вирощені при 350 С на SiNx:H/Si виявляють інтенсивну монохроматичну краєву емісію в ультрафіолетовому діапазоні спектру (380 нм). Вплив водню пояснюється пасивацією дефектів ZnO, відповідальних за глибокорівневу люмінесценцію. Продемонстровано, що легування Ga приводить до зменшення питомого електричного опору плівок ZnO (10^-2 - 10^-4 Ом см), при високій степені їх прозорості (Т > 90%) в діапазоні спектру 400 - 800 нм. Виявлено, що легування Ga (1 %, при Тп=250 С) приводить до збільшення концентрації електронів 5,2x10^19 см^-3 при їх рухливості 3,4 см^2/В·с та супроводжується покращенням текстури плівок вздовж осі с. Показано, що наступне збільшення концентрації Ga (3-10 %) приводить до зміни переважної орієнтації кристалітів у плівці від (002) до (101), зменшенню розміру зерен та згладженню поверхні. При збільшенні концентрації Ga в ZnO продемонстровано эффект Бурштейна - Мосса. Виявлено, що температура 800 С сприяє активації електронейтральних атомів Ga в ZnO в процесі термічного відпалу. Показано можливість зменшення опору плівок від 3,5x10^-2 до 2x10^-4 Ом см методом швидкого термічного відпалу. Registration Date 2009-10-14 popup.nrat_date 2020-04-04 Close