Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0409U005119, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 14-10-2009 Статус Запланована Назва роботи Закономірності впливу умов осадження, легування та термічного відпалу на структурні, оптичні та електричні властивості плівок оксиду цинку Здобувач Храновський Володимир Дмитрович, Керівник Лашкарьов Георгій Вадимович Опонент Зауличний Ярослав Васильович Опонент Хомченко Вікторія Сергіївна Опис В роботі досліджено властивості полікристалічних плівок ZnO, осаджених методом PEMOCVD в діапазоні температур 200 - 500 С. Виявлено підвищення структурної досконалості плівок - покращення текстури вздовж осі с та розміру зерен із збільшенням температури та присутність поліхроматичного спектру люмінесценції. Показано, що використання гомоепітаксійного буферного шару ZnO призводить до покращення структурної досконалості плівок - зростання ступеню текстури, збільшення розміру зерен та зменшення напруг у плівці. Продемонстровано термічну дифузію водню із підкладки в ZnO в процесі росту плівки. Виявлено, що плівки ZnO, вирощені при 350 С на SiNx:H/Si виявляють інтенсивну монохроматичну краєву емісію в ультрафіолетовому діапазоні спектру (380 нм). Вплив водню пояснюється пасивацією дефектів ZnO, відповідальних за глибокорівневу люмінесценцію. Продемонстровано, що легування Ga приводить до зменшення питомого електричного опору плівок ZnO (10^-2 - 10^-4 Ом см), при високій степені їх прозорості (Т > 90%) в діапазоні спектру 400 - 800 нм. Виявлено, що легування Ga (1 %, при Тп=250 С) приводить до збільшення концентрації електронів 5,2x10^19 см^-3 при їх рухливості 3,4 см^2/В·с та супроводжується покращенням текстури плівок вздовж осі с. Показано, що наступне збільшення концентрації Ga (3-10 %) приводить до зміни переважної орієнтації кристалітів у плівці від (002) до (101), зменшенню розміру зерен та згладженню поверхні. При збільшенні концентрації Ga в ZnO продемонстровано эффект Бурштейна - Мосса. Виявлено, що температура 800 С сприяє активації електронейтральних атомів Ga в ZnO в процесі термічного відпалу. Показано можливість зменшення опору плівок від 3,5x10^-2 до 2x10^-4 Ом см методом швидкого термічного відпалу. Дата реєстрації 2009-10-14 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити