Registration Number
0410U000782, Candidate dissertation
Status
к.х.н.
Date
26-02-2010
popup.evolution
.
Title
The interaction of Cd1-xMnxTe solid solutions with iodine-containing (I2 - methanol, I2 - dimethyl formamide) and iodine-evolving (H2O2 - HI - solvent) etching compositions
Author
Denysyuk Roman Oleksandrovych,
popup.head Tomashyk Vasyl Mykolayovych
popup.opponent Фреїк Дмитро Михайлович
popup.opponent Судавцова Валентина Савеліївна
popup.rada
Vasyl Stefanyk Precarpathian National University
Description
Робота присвячена експериментальному дослідженню хімічної взаємодії CdTe і твердих розчинів Сd1-xМnxТe з іодвмісними (І2 - метанол, І2 - диметилформамід) та іодвиділяючими (Н2О2 - НІ - розчинник) травильними композиціями і розробці на основі отриманих результатів травників та методик і режимів полірування поверхні вказаних напівпровідників. Досліджено кінетичні особливості розчинення CdTe і Сd1-xМnxТe в іодвмісних сумішах І2 - СН3ОН, І2 - ДМФА, І2 - НІ та іодвиділяючих композиціях шести потрійних систем: 46%-ний Н2О2 - НІ - оксалатна кислота, 46 %- та 30 %-на Н2О2 - НІ - тартратна кислота, 30 %-на Н2О2 - НІ - лактатна кислота і 46 %- та 30 %-на Н2О2 - НІ - цитратна кислота. Використовуючи математичне планування експерименту, побудовано 24 поверхні однакових швидкостей розчинення СdТe та Сd1-xМnxТe в цих іодвиділяючих сумішах і встановлено межі існування поліруючих, селективних і неполіруючих розчинів в кожній досліджуваній системі. Встановлено вплив органічних кислот (оксалатна, тартратна, лактатна і цитратна кислота) та концентрації Н2О2 на швидкість розчинення і поліруючі властивості травильних композицій. Визначено, що із збільшенням вмісту мангану в складі твердих розчинів Сd1-xМnxТe швидкість розчинення кристалу збільшується і зростають концентраційні межі травників, що володіють поліруючими властивостями. За результатами експериментальних вимірювань електродних потенціалів процесів саморозчиненя досліджуваних напівпровідників в поліруючих травильних композиціях та залежності їх від часу травлення встановлені електрохімічні перетворення, що відбуваються при поліруванні кристалів. Побудовано залежності швидкостей ХМП від розведення базових поліруючих травників систем Н2О2 - НІ - органічна кислота в'язкими розчинниками, визначено вплив їх природи на поліруючі властивості травильних композицій та якість поверхні кристалів Cd1-xMnxTe. На основі експериментальних даних оптимізовано склади травильних розчинів, розроблено режими та способи обробки поверхонь монокристалів напівпровідників Cd1-xMnxTe для формування якісної полірованої поверхні з шорсткістю, яка не перевищує 0,05 мкм. Ключові слова: хімічне травлення, тверді розчини, поверхня, полірування, травильні композиції, іодвмісні і іодвиділяючі травники.
Registration Date
2010-03-30
popup.nrat_date
2020-04-04 / 2026-06-30
