Search academic texts

Information × Registration Number 0412U004225, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 25-09-2012 popup.evolution o Title Effect of the conditions of electron-beam zone melting in the properties of single crystal silicon. Author Piskun Nataliia, popup.head Asnis Iukhym popup.opponent Устінов Анатолій Іванович popup.opponent Конакова Раїса Василівна Description Дисертаційна робота присвячена дослідженню властивостей монокристалів кремнію, одержаних методом електронно-променевої безтигельної зонної плавки із застосуванням різних технологічних заходів для потреб мікроелектроніки. Розрахунковим методом і експериментально показано, що рафінування монокристалів кремнію в процесі електронно-променевої безтигельної зонної плавки забезпечується процесами перекристалізації і випаровування та дегазації у вакуум. Встановлено, що для підвищення вакуумної чистоти плавильної камери і вакуумної системи її відкачку необхідно проводити одночасно з промивкою гелієм. Показано, що електронно-променева плавка монокристалів кремнію з перемішуванням розплаву в зоні і з застосуванням теплозахисного екрану дозволяє знизити щільність дислокацій і рівень напруженого стану в вирощуваних кристалах, що підвищує їх електрофізичні характеристики. Встановлено, що поєднання електронно-променевої безтигельної зонної плавки із процесом електропереносу сприяє додатковому очищенню монокристалів кремнію від домішок. Показано, що при пропусканні електричного струму через зразок в процесі плавки формується впорядкована кристалічна решітка, яка сприяє зниженню рівня внутрішніх напружень і забезпечує підвищення питомого електроопору. Зміцнення монокристалів кремнію азотом, шляхом легування їх в процесі плавки, сприяє підвищенню механічних характеристик і поліпшенню їх електрофізичних властивостей. Registration Date 2012-09-25 popup.nrat_date 2020-04-04 Close