Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0412U004225, Кандидатська дисертація На здобуття к.т.н. Дата захисту 25-09-2012 Статус Запланована Назва роботи Вплив умов електронно-променевої зонної плавки на властивості монокристалів кремнію. Здобувач Піскун Наталія Василівна, Керівник Асніс Юхим Аркадійович Опонент Устінов Анатолій Іванович Опонент Конакова Раїса Василівна Опис Дисертаційна робота присвячена дослідженню властивостей монокристалів кремнію, одержаних методом електронно-променевої безтигельної зонної плавки із застосуванням різних технологічних заходів для потреб мікроелектроніки. Розрахунковим методом і експериментально показано, що рафінування монокристалів кремнію в процесі електронно-променевої безтигельної зонної плавки забезпечується процесами перекристалізації і випаровування та дегазації у вакуум. Встановлено, що для підвищення вакуумної чистоти плавильної камери і вакуумної системи її відкачку необхідно проводити одночасно з промивкою гелієм. Показано, що електронно-променева плавка монокристалів кремнію з перемішуванням розплаву в зоні і з застосуванням теплозахисного екрану дозволяє знизити щільність дислокацій і рівень напруженого стану в вирощуваних кристалах, що підвищує їх електрофізичні характеристики. Встановлено, що поєднання електронно-променевої безтигельної зонної плавки із процесом електропереносу сприяє додатковому очищенню монокристалів кремнію від домішок. Показано, що при пропусканні електричного струму через зразок в процесі плавки формується впорядкована кристалічна решітка, яка сприяє зниженню рівня внутрішніх напружень і забезпечує підвищення питомого електроопору. Зміцнення монокристалів кремнію азотом, шляхом легування їх в процесі плавки, сприяє підвищенню механічних характеристик і поліпшенню їх електрофізичних властивостей. Дата реєстрації 2012-09-25 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити