Кандидатська дисертація. Кутраков Олексій Петрович. Тензорезистивні давачі тиску на основі ниткоподібних кристалів кремнію для широкого діапазону температур і частот

Registration Number

0412U004366, Candidate dissertation

Status

к.т.н.

Date

27-09-2012

popup.evolution

.

Title

Piezoresistive pressure sensors based on silicon whiskers for the wide temperature and frequency range

Author

Kutrakov Aleksey Petrovich,

popup.head Druzhinin Anatoliy Oleksandrovych
popup.opponent Лепіх Ярослав Ілліч
popup.opponent Голяка Роман Любомирович

popup.rada

Lviv Polytechnic National University

Description

Показано можливість роботи тензорезисторів на основі НК кремнію р-типу з платиновими контактами до температури + 500oС зі збереженням високої тензочутливості. Встановлено радіаційну стійкість тензорезисторів до опромінення електронами з енергією Е <= 10 МеВ і флюенсом Ф< = ? 1x10^17 ел/см2. Розроблено технологічні основи створення давачів тиску з тензорезисторами на основі НК р-Si працездатних у різних діапазонах температур. Створено тензорезистивні давачі на основі НК кремнію для вимірювання статичних і динамічних, працездатні у діапазонах температур від -269...+20oС до +20...+320oС

Registration Date

2012-10-23

popup.nrat_date

2020-04-04 / 2026-06-30