Search academic texts

Information × Registration Number 0412U004665, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 26-10-2012 popup.evolution o Title Single layer silicon epitaxial structures with improved structural characteristics technology development Author Siedin Evgen Olexandrovich, popup.head Oksanich Anatoliy Petrovich popup.opponent Левінзон Давид Іделевич popup.opponent Мельник Віктор Павлович Description Дисертацію присвячено розробці технології виробництва КОЕС з різкими концентраційно-перехідними областями і поліпшеними структурними характеристиками. Виконано розрахунки термопружного вигину і термонапруг, які можна застосувати для прогнозування виникнення дислокацій, ліній ковзання та інших структурних дефектів, що з'являються в КОЕС в результаті термообробки. Розроблена установка "Вертикаль-2МА" для отримання КОЕС при зниженому тиску і температурі в реакторі. Розроблено науково-обґрунтована методика і пристрій контролю складних форм вигину і напруги в КОЕС. Розраховані вирази для визначення критичних напружень Gкр і критичного радіального градієнта температур Ткр та визначено взаємозв'язок цих виразів з діаметром, товщиною КОЕС і пружними постійними: модулем Юнга Е та коефіцієнтом Пуассона. Вперше встановлено, що при епітаксії методом піролізу силану при температурі 850? і тиску 104 Па концентраційна перехідна область знижується до 10% при одночасному зниженні щільності дислокацій Nd до 3·10^2 см^(-2). Registration Date 2012-10-26 popup.nrat_date 2020-04-04 Close