Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0412U004665, Кандидатська дисертація На здобуття к.т.н. Дата захисту 26-10-2012 Статус Запланована Назва роботи Розробка технології виробництва кремнієвих одношарових епітаксійних структур з покращеними структурними характеристиками Здобувач Сєдін Євген Олександрович, Керівник Оксанич Анатолій Петрович Опонент Левінзон Давид Іделевич Опонент Мельник Віктор Павлович Опис Дисертацію присвячено розробці технології виробництва КОЕС з різкими концентраційно-перехідними областями і поліпшеними структурними характеристиками. Виконано розрахунки термопружного вигину і термонапруг, які можна застосувати для прогнозування виникнення дислокацій, ліній ковзання та інших структурних дефектів, що з'являються в КОЕС в результаті термообробки. Розроблена установка "Вертикаль-2МА" для отримання КОЕС при зниженому тиску і температурі в реакторі. Розроблено науково-обґрунтована методика і пристрій контролю складних форм вигину і напруги в КОЕС. Розраховані вирази для визначення критичних напружень Gкр і критичного радіального градієнта температур Ткр та визначено взаємозв'язок цих виразів з діаметром, товщиною КОЕС і пружними постійними: модулем Юнга Е та коефіцієнтом Пуассона. Вперше встановлено, що при епітаксії методом піролізу силану при температурі 850? і тиску 104 Па концентраційна перехідна область знижується до 10% при одночасному зниженні щільності дислокацій Nd до 3·10^2 см^(-2). Дата реєстрації 2012-10-26 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити