Search academic texts

Information × Registration Number 0413U004960, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 25-06-2013 popup.evolution o Title Physical-chemical modification of the single-crystal silicon surface and its properties Author Luchenko Angelika Illarionivna, popup.head Makara Volodymyr Arseniyovych popup.opponent Литовченко Петро Григорович popup.opponent Неймаш Володимир Борисович Description Дисертація присвячена розробці методичних особливостей отримання наноструктурованих однорідних плівок кремнію як нового багатофункціонального матеріалу та дослідження їх властивостей з метою цілеспрямованого керування характеристиками наноструктурованих плівок при їх використанні в мікро- та наноелектроніці. Дослідження морфології поверхні показало, що при хімічному травленні відбувається модифікація поверхні підкладок і на вихідному рельєфі з являються нанорозмірні елементи структури. Запропоновано механізм формування наноструктурованого шару на поверхні монокристалічного кремнію. Показано, що в залежності від товщини наноструктурованої плівки кремнію змінюється її фоточутливість: так у видимому діапазоні спектра максимальну фоточутливість мають наноструктуровані плівки кремнію товщиною 10-15 нм, а в ультрафіолетовому - 20-25 нм. Методом скануючої тунельної спектроскопії проведено вивчення локальної щільності електронних станів біля рівня Фермі на поверхні наноструктурованого кремнію в залежності від товщини наноструктурованої плівки. Показано, що в залежності від товщини наноструктурованої плівки кремнію змінюється і її тип провідності. Дослідження газової чутливості структур на основі наноструктурованого кремнію показало, що існують резонансні частоти, на яких параметри другої похідної вольт-амперної характеристики досягають максимуму, а при зміні газового середовища відбувається нерівномірний зсув резонансних частот. Registration Date 2013-06-25 popup.nrat_date 2020-04-04 Close