Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0413U004960, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 25-06-2013 Статус Запланована Назва роботи Фізико-хімічна модифікація поверхні монокристалічного кремнію та її властивості Здобувач Лученко Анжеліка Ілларіонівна, Керівник Макара Володимир Арсенійович Опонент Литовченко Петро Григорович Опонент Неймаш Володимир Борисович Опис Дисертація присвячена розробці методичних особливостей отримання наноструктурованих однорідних плівок кремнію як нового багатофункціонального матеріалу та дослідження їх властивостей з метою цілеспрямованого керування характеристиками наноструктурованих плівок при їх використанні в мікро- та наноелектроніці. Дослідження морфології поверхні показало, що при хімічному травленні відбувається модифікація поверхні підкладок і на вихідному рельєфі з являються нанорозмірні елементи структури. Запропоновано механізм формування наноструктурованого шару на поверхні монокристалічного кремнію. Показано, що в залежності від товщини наноструктурованої плівки кремнію змінюється її фоточутливість: так у видимому діапазоні спектра максимальну фоточутливість мають наноструктуровані плівки кремнію товщиною 10-15 нм, а в ультрафіолетовому - 20-25 нм. Методом скануючої тунельної спектроскопії проведено вивчення локальної щільності електронних станів біля рівня Фермі на поверхні наноструктурованого кремнію в залежності від товщини наноструктурованої плівки. Показано, що в залежності від товщини наноструктурованої плівки кремнію змінюється і її тип провідності. Дослідження газової чутливості структур на основі наноструктурованого кремнію показало, що існують резонансні частоти, на яких параметри другої похідної вольт-амперної характеристики досягають максимуму, а при зміні газового середовища відбувається нерівномірний зсув резонансних частот. Дата реєстрації 2013-06-25 Додано в НРАТ 2020-04-04 Закрити