Registration Number
0413U006779, Candidate dissertation
Status
к.х.н.
Date
08-11-2013
popup.evolution
.
Title
Interaction of the PbTe and Pb1-xSnxTe solid solutions with H2O2–НBr–solvent etching compositions
Author
Malanych Galyna Petrivna,
popup.head Tomashik Vasyl Nikolaevich
popup.opponent Щербак Лариса Павлівна
popup.opponent Судавцова Валентина Савеліївна
popup.rada
Yuri Fedkovych Chernivtsi National University
Description
Дисертаційна робота присвячена дослідженню взаємодії монокристалів PbTe і твердих розчинів Pb0,83Sn0,17Te, Pb0,8Sn0,2Te (І) і Pb0,8Sn0,2Te (ІІ) з бромвиділяючими травниками H2O2–HBr–розчинник, розробці і оптимізації травильних композицій та методик обробки для формування високоякісної поверхні. Вивчено характер розчинення досліджуваних матеріалів в травниках систем H2O2–HBr–етиленгліколь, H2O2–HBr–ацетатна, H2O2–HBr–лактатна, H2O2–HBr–оксалатна, H2O2–HBr–тартратна, H2O2–HBr–цитратна кислоти та побудовано 24 діаграми “склад травника – швидкість травлення” з визначенням меж областей поліруючих і неполіруючих розчинів. Досліджено залежності швидкостей травлення від температури та швидкості обертання диску і показано, що процес розчинення цих напівпровідників у поліруючих розчинах H2O2–HBr–розчинник лімітується дифузійними стадіями. Із аналізу температурних залежностей швидкостей розчинення підтверджено існування компенсаційного ефекту в кінетиці хімічного травлення PbTe і Pb1-xSnxTe в травильних композиціях H2O2–HBr–розчинник. Виявлено вплив природи розчинника та концентрації бромідної кислоти на швидкість хімічного розчинення, поліруючі властивості розчинів та якість полірованої поверхні PbTe та Pb1-xSnxTe. Показано, що зі збільшенням вмісту олова в складі твердого розчину Pb1-xSnxTe швидкість травлення не суттєво змінюється, а області поліруючих травників на діаграмах зменшуються. Мікроструктурним аналізом, растровою електронною мікроскопією та методом спектроскопії комбінаційного розсіювання світла встановлено вплив кількісного і якісного складу травників, а також способів хімічної обробки на параметри шорсткості поверхонь PbTe і твердих розчинів Pb1-xSnxTe. Оптимізовано склади поліруючих травильних композицій H2O2–HBr–розчинник і технологічні режими ХДП і ХМП для видалення порушеного шару, контрольованого потоншення пластин до заданих розмірів, зняття тонких плівок та фінішного полірування монокристалів PbTe і твердих розчинів Pb1-xSnxTe.
Registration Date
2013-12-03
popup.nrat_date
2020-04-04 / 2026-06-29
