Search academic texts

Information × Registration Number 0415U000374, Candidate dissertation Status к.т.н. Date 10-02-2015 popup.evolution o Title Increase of exactness of diagnostics relief and mechanical descriptions nanosize structures in an instrument-making Author Bilokin Svitlana Oleksandrivna, popup.head Bondarenko Maksym Oleksiyovich popup.opponent Квасніков Володимир Павлович popup.opponent Маркін Максим Олександрович Description Встановлені фактори і досліджені процеси, що впливають на точність діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні. Проведене модифікування вуглецевим покриттям інструменту атомно-силового мікроскопу, а саме - кремнієвого зонду; розроблений спосіб зняття електростатичного заряду та визначені оптимальні режими роботи атомно-силового мікроскопу в результаті чого в 2,5…3 рази зменшується кількість артефактів, на 25…30% підвищується термін служби та у 1,4…3,4 рази - повторюваність результатів сканування. Захищаються 36 наукових праць, що містять результати дослідження рельєфу та механічних характеристик нанометричних елементів методом атомно-силової мікроскопії з використанням зондів модифікованих функціональними покриттями. Registration Date 2015-02-10 popup.nrat_date 2020-04-03 Close