Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0415U000374, Кандидатська дисертація На здобуття к.т.н. Дата захисту 10-02-2015 Статус Запланована Назва роботи Підвищення точності діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні Здобувач Білокінь Світлана Олександрівна, Керівник Бондаренко Максим Олексійович Опонент Квасніков Володимир Павлович Опонент Маркін Максим Олександрович Опис Встановлені фактори і досліджені процеси, що впливають на точність діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні. Проведене модифікування вуглецевим покриттям інструменту атомно-силового мікроскопу, а саме - кремнієвого зонду; розроблений спосіб зняття електростатичного заряду та визначені оптимальні режими роботи атомно-силового мікроскопу в результаті чого в 2,5…3 рази зменшується кількість артефактів, на 25…30% підвищується термін служби та у 1,4…3,4 рази - повторюваність результатів сканування. Захищаються 36 наукових праць, що містять результати дослідження рельєфу та механічних характеристик нанометричних елементів методом атомно-силової мікроскопії з використанням зондів модифікованих функціональними покриттями. Дата реєстрації 2015-02-10 Додано в НРАТ 2020-04-03 Закрити