Кандидатська дисертація. Білокінь Світлана Олександрівна. Підвищення точності діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні

Registration Number

0415U000374, Candidate dissertation

Status

к.т.н.

Date

10-02-2015

popup.evolution

.

Title

Increase of exactness of diagnostics relief and mechanical descriptions nanosize structures in an instrument-making

Author

Bilokin Svitlana Oleksandrivna,

popup.head Bondarenko Maksym Oleksiyovich
popup.opponent Квасніков Володимир Павлович
popup.opponent Маркін Максим Олександрович

popup.rada

National Technscal University of Ukraine "Kiev Polytechnic Institute".

Description

Встановлені фактори і досліджені процеси, що впливають на точність діагностування рельєфу та механічних характеристик нанорозмірних структур у приладобудуванні. Проведене модифікування вуглецевим покриттям інструменту атомно-силового мікроскопу, а саме - кремнієвого зонду; розроблений спосіб зняття електростатичного заряду та визначені оптимальні режими роботи атомно-силового мікроскопу в результаті чого в 2,5…3 рази зменшується кількість артефактів, на 25…30% підвищується термін служби та у 1,4…3,4 рази - повторюваність результатів сканування. Захищаються 36 наукових праць, що містять результати дослідження рельєфу та механічних характеристик нанометричних елементів методом атомно-силової мікроскопії з використанням зондів модифікованих функціональними покриттями.

Registration Date

2015-02-12

popup.nrat_date

2020-04-04 / 2026-06-29