Search academic texts

Information × Registration Number 0415U002622, Candidate dissertation Status к.ф.-м.н. Date 25-05-2015 popup.evolution o Title Influence of tin on the formation of nanocrystalline silicon in thin films of a-Si and a-SiOx Author Rudenko Roman Mykolajovych, popup.head Makara Volodymyr Arsenijovych popup.opponent Литовченко Петро Григорович popup.opponent Бачеріков Юрій Юрійович Description Дисертація присвячена дослідженню впливу ізовалентної домішки олова на процеси формування нанокристалічного кремнію у тонких плівках кремнію та субоксиду кремнію. Показано, що домішка олова сповільнює та обмежує ріст середніх розмірів кремнієвих кристалітів в аморфній матриці кремнію з ростом температури ізохронного відпалу. Для плівок аморфного кремнію, легованих оловом, середні розміри кристалітів кремнію є меншими 10 нм у більш широкому температурному діапазоні, ніж для нелегованих плівок. Встановлено, що легування оловом плівок субоксиду кремнію понижає температуру кристалізації включень аморфного кремнію. При цьому у легованих оловом плівках субоксиду кремнію нанокристали Si утворюються менші за розміром порівняно зі зразками без олова. Registration Date 2015-05-25 popup.nrat_date 2020-04-03 Close