Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0415U002622, Кандидатська дисертація На здобуття к.ф.-м.н. Дата захисту 25-05-2015 Статус Запланована Назва роботи Вплив олова на формування нанокристалічного кремнію в тонких плівках a-Si та a-SiOx Здобувач Руденко Роман Миколайович, Керівник Макара Володимир Арсенійович Опонент Литовченко Петро Григорович Опонент Бачеріков Юрій Юрійович Опис Дисертація присвячена дослідженню впливу ізовалентної домішки олова на процеси формування нанокристалічного кремнію у тонких плівках кремнію та субоксиду кремнію. Показано, що домішка олова сповільнює та обмежує ріст середніх розмірів кремнієвих кристалітів в аморфній матриці кремнію з ростом температури ізохронного відпалу. Для плівок аморфного кремнію, легованих оловом, середні розміри кристалітів кремнію є меншими 10 нм у більш широкому температурному діапазоні, ніж для нелегованих плівок. Встановлено, що легування оловом плівок субоксиду кремнію понижає температуру кристалізації включень аморфного кремнію. При цьому у легованих оловом плівках субоксиду кремнію нанокристали Si утворюються менші за розміром порівняно зі зразками без олова. Дата реєстрації 2015-05-25 Додано в НРАТ 2020-04-03 Закрити