Registration Number
0415U004452, Candidate dissertation
Status
к.т.н.
Date
07-09-2015
popup.evolution
.
Title
Influence of laser processing on structure and properties of Ni3B-, BaB6-LaB6- and SnO2-Sb-based composite thick films
Author
Sheludko Vladimir Evgenievich,
popup.head Paustovsky Alexander Vasil’evich
popup.opponent Лихошва Валерій Петрович
popup.opponent Котляров Валерій Павлович
popup.rada
Frantzevich Insitute for Materials Science Problems of the Ukranian National Academy of Sciences
Description
Робота присвячена вивченню впливу лазерної обробки на структурні і електрофізичні характеристики товстих плівок для мікроелектроніки. Об'єктами дослідження були композиційні товсті плівки (ТП) на основі боридів Ni3B, BaВ6, LaВ6, твердих розчинів (Ba, La)В6, (Sn, Sb)O2 і склозв'язуючих СЦ3-55 і С279-2. Розраховано і експериментально визначено основні теплофізичні та оптичні характеристики даних композицій і проведено розрахунки температурних полів у ТП при лазерній обробці. Атомною силовою і скануючою електронною мікроскопією вивчено морфологію, "фазовий контраст", а також структуру поверхні у вторинних і відбитих електронах при різних режимах лазерної обробки і визначені інтервали енергій, при яких спостерігається мінімальна шорсткість ТП на основі Ni3B, та отримані криві концентраційного розподілу елементів провідної фази по поверхні і глибині плівок. Дані рекомендації з обробки ТП в інтервалах енергій, які сприяють зменшенню шорсткості, що має практичний інтерес при створенні змінних резисторів. Встановлено, що обробка всіх видів ТП імпульсним лазерним випромінюванням наносекундної тривалості проявляється в зменшенні товщини ТП та дробленні частинок провідної фази. Визначено ряд стійкості плівок до багаторазового впливу імпульсів наносекундной тривалості: LaВ6 > (Ba, La)B6 > BaВ6 > (Sn, Sb)O2 > Ni3B. Опромінення імпульсами нано- і мікросекундної тривалості сприяє роботі ТП в оптимальних умовах (значення параметру alfa~1). Досліджено коефіцієнт тензочутливості для ТП на основі досліджуваних систем. Показано, що вплив імпульсів наносекундной тривалості підвищує значення коефіцієнту тензочутливості ТП на основі легованого сурмою диоксида олова ~на 35 % при гарній відтворюваності. Цей режим рекомендовано для практичного застосування.
Registration Date
2015-09-17
popup.nrat_date
2020-04-04 / 2026-06-29
